Department of Mechanical Engineering, Graduate School of Kansai University, 3-3-35 Yamate-cho, Suita, Osaka, Japan;
机译:超薄钴合金阻挡层,用于通过新的播种和化学沉积工艺进行铜金属化
机译:使用创新的播种技术化学沉积铜的超薄Co-B基阻挡层
机译:通过使用烷基自组装单层增强金属阻挡层化学镀铜的晶种
机译:通过最后的Cu-TSV金属化无电屏蔽屏障和种子层
机译:从有机溶液中沉积金属种子,以进行后续的化学镀。
机译:用于硅太阳能电池正面金属化的化学镍沉积
机译:通过自组装单层法(SAM)在TAN扩散屏障上的无电铜籽层