Intel Corporation, 5200 NE Elam Young Pkwy, Hillsboro OR 97124;
EUV lithography; EUVL; photoresist; chemically amplified photoresist; photon shot noise; stochastics; LCDU;
机译:使用DDR工艺制造高纵横比透射光栅,以通过EUV干涉光刻技术评估10 nm EUV抗蚀剂
机译:使用DDR工艺制造高纵横比传动光栅10nm EUV抗蚀剂评估通过EUV干扰光刻
机译:使用DDR工艺制造高纵横比传动光栅通过EUV干扰光刻使用DDR工艺进行10-NM EUV抵抗评估
机译:通过UV泛光曝光提高EUV抗蚀剂的化学梯度,以改善EUV抗蚀剂的分辨率,工艺控制,粗糙度,灵敏度和随机缺陷率
机译:Milize U.S.-Mexico边界殖民地的身份建设:抗性抗体妇女的推荐=美国与墨西哥之间的米尔化边界殖民地的身份构建:抗拒女性颜色的推荐
机译:高敏感性抗蚀性对EUV光刻进行抗衡性:材料设计策略和绩效结果综述
机译:Sematech Berkeley会议:在6.x-nm下,在化学扩增的EUV抗蚀剂和EUV抗蚀剂的敏感性中展示了15nm的半场