Shenzhen Graduate School of Peking University, Shenzhen 518055, China National Key Lab of Micro/ Nanometer Fabrication Technology, Institute of Microelectronics,Peking University, Beijing 100871, China;
Nanjing Dajing Hi-tech, Inc., Floor7, No.6, Ji E Lane, Zhujiang Road, Nanjing 210018, China;
Shenzhen Graduate School of Peking University, Shenzhen 518055, China National Key Lab of Micro/ Nanometer Fabrication Technology, Institute of Microelectronics,Peking University, Beijing 100871, China;
机译:研究用于多功能感应的微型皮拉尼仪表
机译:双频电润湿:在数字微系统内用于液滴蒸发测量的应用
机译:用于高密度神经传感应用的2.5D异构集成微系统
机译:具有单线传感单元的新型微型Pirani规范,用于微系统应用
机译:应用于光学计量和化学传感的无处不在的光学微系统平台。
机译:在15 K至350 K的宽范围温度应用中在TCO膜中构图的加热传感器微系统的电气和热性能
机译:微系统的批量压电转换及其在微电子批处理组件,电容感应和太阳能集中度中的应用