SankoGosei, Nanto, Toyama 939-1852, Japan;
SankoGosei, Nanto, Toyama 939-1852, Japan;
Toyama Prefectural University, Imizu, Toyama 939-0398, Japan;
Toyama Prefectural University, Imizu, Toyama 939-0398, Japan;
MEMS device; gas permeability; 3D printer; Nano imprint; Lithography;
机译:通过表面改性对Tribo-Si和SU8材料进行功能化,以用于基于MEMS / NEMS执行器的设备
机译:有机半导体器件中的薄膜金属氧化物:其电子结构,功函数和界面
机译:多金属氧酸盐团簇,纳米结构和材料:从自组装到设计材料和设备
机译:金属材料的内部结构与MEMS器件有关的气体渗透功能
机译:坚固耐用的有机发光器件,具有先进的功能材料和新颖的器件结构。
机译:MEMS S&A器件金属/硅复合结构的混合制造工艺
机译:医疗器械用透氧光学透明材料的物理性质与内部结构关系的研究
机译:掺杂过渡金属离子的ZnO / mgO和GaN / alN量子结构中自旋电子器件的波函数工程