Department of Information Display, Sun Moon University, Korea;
Department of Information Display, Sun Moon University, Korea;
Department of IC Engineering, Sun Moon University, Korea;
Department of Information Display, Sun Moon University, Korea;
Department of Information Display, Sun Moon University, Korea;
TFT devices; low-energy electron beam; inspection; microcolumn; LCD panels;
机译:使用微柱发出的低能电子束检查TFT器件
机译:多层ULSI器件中使用低能电子束检测接触/孔的新方法
机译:使用低能电子微柱检查薄膜晶体管液晶显示面板中的开路缺陷
机译:使用从微柱发射的低能量电子束检查TFT器件
机译:用于电子束微柱中电子束控制的微机械磁性设备。
机译:低能等离子体聚焦装置作为电子束源
机译:从等离子体聚焦装置发射的脉冲电子束的测量
机译:电子束器件场发射阴极的研制