Department of Electrical Engineering, National Chi-Nan University, Nan-Tou, Taiwan, R.O.C.;
Department of Electrical Engineering, National Chi-Nan University, Nan-Tou, Taiwan, R.O.C.;
Department of Electrical Engineering, National Cheng-Kung University, Tainan, Taiwan, R.O.C.;
Department of Electrical Engineering, National Cheng-Kung University, Tainan, Taiwan, R.O.C.;
机译:等离子体功率对使用甲苯前体的等离子体增强化学气相沉积法沉积的低k聚合物状有机薄膜的性能的影响
机译:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积的超低k SiOC(H)膜的表征
机译:用二甲基二甲氧基硅烷/ O-2前体使用等离子体增强的化学气相沉积,纳米孔结构的低介电常数SiOC(-H)薄膜的导电。
机译:前体流速对等离子体增强化学气相沉积沉积的低kSiOC(h)膜特性的影响
机译:通过等离子增强化学气相沉积在聚合物基材上沉积无机薄膜。
机译:用于进一步缩小超大型集成器件-Cu互连的等离子增强化学气相沉积SiCH膜的低k覆盖层的材料设计
机译:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)沉积的超低k SiOC(H)膜的表征
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。