Dept. of Mechanical Eng., USA;
PZT thin-film; aging; sensors; actuators; MEMS; sol-gel;
机译:2015年5月4日至6日在西班牙巴塞罗那举行的SPIE EUROPE“ MICROTECHNOLOGIES”研讨会上的“智能传感器,执行器和MEMS”,“网络物理系统”以及“生物MEMS和医疗微设备”会议的特刊
机译:使用压电PZT薄膜致动器的1V操作MEMS可变光学衰减器
机译:利用压电PZT薄膜低压启动RF-MEMS开关
机译:PZT薄膜传感器和智能组织和MEMS器件致动器的可行性研究
机译:PZT-硅烷纳米复合薄膜传感器与执行器的制备,表征与应用
机译:基于MEMS的传感器装置的致动和传感机制述评
机译:采用压电pZT薄膜执行器的1V工作mEms可变光衰减器
机译:mEms结构传感器与执行器智能皮肤共形天线的设计与开发