Corning Tropel Corporation, 60 O'Connor Rd, Fairport, NY 14450;
immersion imaging; interferometry; DUV microlithography;
机译:193nm浸没式光刻的定量图案塌缩计量学
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机译:通过混合光学无掩模光刻技术扩展193nm浸没
机译:193NM浸没物镜表征的光学计量
机译:梯度折射率材料的光学相干断层扫描计量和自由形态光学表面
机译:关于超精密X射线光学组件的表征:非原位计量技术的进步与挑战
机译:193NM浸入光刻的定量模式崩溃计量