School of NanoSciences and NanoEngineering, University at Albany-SUNY, Albany, NY;
MOEMS; nanotechnology; diffraction gratings; optical scanner; optical interconnect;
机译:产品数据的水平和垂直集成,用于模制互连设备的设计
机译:芯片到芯片互连的新方法:将多孔硅与薄膜集成
机译:CAD工具的松散耦合结合及其在SAW器件设计和制造中的应用
机译:互连应用程序的MoEMS设备设计,开发和集成
机译:用于高级IC器件的片上铜/低k互连:材料集成和工艺优化研究。
机译:用于进一步缩小超大型集成器件-Cu互连的等离子增强化学气相沉积SiCH膜的低k覆盖层的材料设计
机译:可编程光谱仪使用MoEMS设备进行空间应用