National Institute of Standards and Technology, Gaithersburg, MD 20899;
机译:对准和覆盖计量误差的解耦,以及使用机器学习方法的覆盖优化的层到层覆盖计量误差
机译:原子力显微镜光刻中的叠加计量学研究(原子力显微镜叠加光刻)
机译:使用光学显微镜进行纳米级覆盖和针距计量
机译:高分辨率光学叠加计量
机译:稳定的飞秒激光器的高分辨率光学频率计量。
机译:光学计量学对聚(34-乙撑二氧噻吩):聚(苯乙烯磺酸盐)配方的光学性能的了解
机译:SPIE光学计量学2013:光学计量学IV中的建模方面