Department of Electrical and Control Engineering National Chiao Tung University, HsinChu, 300, Taiwan;
micro-mirror; lever; PolyMUMPs;
机译:通过频率检测感应传感同时感测大型垂直位移微镜的活塞位置和倾斜角
机译:采用主动控制方法的具有倾斜角的静电扭转微镜
机译:铁基金属玻璃的大倾角微镜
机译:通过约束杠杆结构具有良好控制的数字角度的倾斜微镜
机译:角度数字化和微镜固定。
机译:带有数字微镜装置的非线性结构照明增强的时间聚焦多光子激发显微镜
机译:高倾斜角微镜的多目标光谱阵列