School of Chemical Biomolecular Engineering, Georgia Institute of Technology 311 Ferst Drive N.W., Atlanta, GA 30332-0100;
polycarbonate; sacrificial material; photosensitive; photoacid generator;
机译:通过牺牲性光敏聚碳酸酯为微机电系统制造风道
机译:选择性去除聚合物牺牲层中的干蚀刻残留物,用于微机电系统器件的制造
机译:纳米粘土增强Pluronic F-127作为牺牲墨水的PDMS微流体装置的制备
机译:在微流控设备制造中用作牺牲材料的光可定义聚碳酸酯的合成与表征
机译:基于碳材料的微机电系统(MEMS):制造和设备。
机译:多层聚合物微流控装置的相变牺牲层制备
机译:用于生物模拟的微流体装置的快速制造:材料和生物相容性调查