大気圧熱プラズマジェット照射と高速度カメラ組み込み型回転ステージによる結晶成長のリアルタイム観察

摘要

フレキシブルガラス基板上への薄膜トランジスタ作製を目指した，大気圧熱プラズマジェット照射によるa-Si 薄膜の低温結晶化処理に関する研究が進められてきた[1,2]．しかし，円筒型回転ステージでの結晶化現象に関して高速度カメラによるリアルタイム観測には成功していない．そこで本研究では，円筒型回転ステージと高速度カメラを組み合わせ，溶融域および結晶化のリアルタイム観測を試み，結晶成長の評価に関しEBSD を用いて行った．