膨張天然黒鉛シート上のp型およびn型GaN成長

摘要

膨張天然黒鉛シート PERMA-FOIL®は、特殊処理した天然黒鉛をバインダーレスで成形した可とう性黒鉛シートで、高純度化することで半導体用途にも適用できる（灰分10mass ppm 以下）。昨年来、我々は、フレキシブル発光デバイス作製を目的として、PERMA-FOIL®上へのGaN結晶成長の取り組みを報告してきた。これまでに、成長したGaN結晶からのPL発光を観測するとともに、成長条件の適正化を実施した。