酸素負イオン照射した錫添加In2O3薄膜における特異なキャリア輸送特性

摘要

はじめに:錫添加In_2O_3 (ITO)は優れた光学的透明性と電気伝導性を有し、透明導電膜として最も広く用いられている。ITOの電気特性は従来考察[1]されているが、多結晶薄膜においては伝導を担う結晶子が有限サイズの障壁(粒界)で隔てられていると考える。その場合、ホール移動度(μH)は光学移動度(μopt)よりも小さいと想定される。一方、本研究では酸素負イオン(O~−)照射後のITO薄膜において、μH >μoptとなる照射条件が見出された。