ピコ秒超音波法を用いたα及びβ型タングステンナノ薄膜の 弾性率計測および重水素照射による機械特性の変化

摘要

タンダステン薄膜は様々な分野で用いられている。X線リソグラフィゃ軟X線用のミラーのほか、スピン流生成源としてスピントロ二タスにおいても重要な材料であり、音響分野においてもその大きな音響ィンピーダンスは重要である。また強度や熱耐性が高いことは機械的用途においても重要な役割を担い、磁場閉じ込め型核融合炉内の保護材料としても利用されている。