多様な結晶構造を有するSiO_2 膜へのH_2O 分子透過

摘要

はじめに： これまでに保護膜の耐湿性劣化機構を解明するために，SiN_x膜やSiOx膜へのH2O分子透過を解析してきた．その中で SiNx膜に比べてSiO_x膜の方が耐湿性劣化しやすいのはH_2O分子の透過経路である膜中の格子間サイトのサイズがSiO_x膜の方が大きいためであることを計算で示した[1]．この計算には高温型クリストバライト構造のSiO_2を用いたが，SiO_2には多様な結晶構造の存在が知られている．本報告では，他のSiO_2結晶構造へのH_2O分子の透過障壁を計算し，耐湿性を格子間サイトのサイズとの関係で議論した．