キレートフレーム法によるアルミニウム合金上へのエルビア断熱コーティング

摘要

断熱コーティングの熱伝導率は気孔率の増加に伴って低下することが知られている。過去の報告において、キレートフレーム法と回転冶具を用いてSUS304基板上に気孔率40 %、膜厚200 µm程度のEr_2O_3厚膜の堆積に成功している。この方法を用いることで、アルミニウム合金上に断熱コーティングを合成できると考えた。そこで、今回はキレートフレーム法と回転冶具を用いた方法でアルミニウム合金上にEr_2O_3厚膜を堆積させ、積層体の断熱性について評価する。