Dept. of Electr. & Comput. Eng. Yokohama Nat. Univ. Yokohama Japan;
electric current control; motion control; nanopositioning; pulse width modulation; NC machine tools; design fabrication; exposure systems; motion control techniques; multirate PWM control; precise current control; ultrahigh-speed nanoscale positioning;
机译:用于超高速纳米级定位的精密平台的多速率PWM控制
机译:高精度平台电子束光刻技术制备纳米级宽大长度线阵
机译:用于快速纳米级定位的基于挠性的XY位移台的设计,识别和控制
机译:高精度级和超高速纳米尺度定位设计制造
机译:通信和高精度定位系统的建筑设计与硬件实现
机译:符合纳米钳作为纳米级的生物医学工具:设计仿真和制造
机译:第一阶段 - 最终报告:改进了热中子的位置敏感探测器。设计,制造和测试第一阶段 - 在实验室和强脉冲中子源(IpNs),阿贡国家实验室的主要改进位置敏感热中子探测器原型的测试结果
机译:第一阶段 - 最终报告:用于热中子的改进的位置敏感探测器。设计,制造和测试阶段I-校对的结果改进的位置敏感热敏感探测器原型在实验室和强脉冲中子(IpNNs) ),阿贡国家实验室