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机译:用于快速纳米级定位的基于挠性的XY位移台的设计,识别和控制
Feedforward inversion; integral resonant control (IRC); mechanical design; nanopositioning stage;
机译:基于柔性的混合运动XY高精度定位平台设计,具有大范围
机译:基于基于FEA的响应面方法的基于挠曲的XY定位平台的设计和计算优化
机译:差动压电驱动的弯曲弯曲平行XY阶段的设计与分析
机译:具有恒定力输出的基于挠曲的XY精密定位平台的设计
机译:开发用于真空环境的基于大位移挠曲的纳米精度XY定位平台。
机译:新型XY压电兼容微定位平台的设计建模和测试
机译:基于新型柔性的XY微定位阶段的设计与分析