Advanced Light Source, Lawrence Berkeley National Laboratory, Berkeley, CA 94720, USA;
BESSY GmbH, Albert-Einstein-Str. 15, 12489 Berlin, Germany;
Physikalische-Technische Bundesanstalt Braunschweig (PTB), Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Germany;
slope measuring instrument; long trace profiler; LTP; calibration; systematic error reduction; test mirror;
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