Center for Microelectron. of Provence Georges Charpak, Ecole Nat. Super. des Mines de St.-Etienne, Gardanne, France;
integrated circuit manufacture; semiconductor device manufacture; individual process applications; industrial data; large-volume multistage manufacturing system; physical measurement prediction; semiconductor manufacturing industry; virtual metrology models; wafer monitoring; wafer state information;
机译:半导体制造的抽样决策系统-依靠虚拟计量和实际测量
机译:虚拟计量学概念,用于预测半导体制造中的缺陷水平
机译:一种预测半导体制造中CVD厚度的新型虚拟计量方案
机译:用于预测半导体制造中物理测量的虚拟计量模型
机译:半导体制造过程中基于深度学习的虚拟计量
机译:通过测量半导体制造厂工人的尿中特定无机砷代谢物来评估砷暴露
机译:高斯过程回归,用于半导体制造中启用虚拟计量的运行到运行控制