Test Structure and e-Beam Inspection Methodology for In-line Detection of (Non-visual) Missing Spacer Defects

机译：在线检测（非视觉）缺失的垫片缺陷的测试结构和电子束检查方法

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A test structure specifically designed to allow in-line detection of missing spacer is introduced. Missing spacer is too small to be physically detected with any current inspection tool and therefore its existence must be flagged using voltage contrast fo

机译：介绍了一种专门设计用于在线检测缺失间隔物的测试结构。缺少的垫片太小，无法用任何电流检测工具进行物理检测，因此必须使用电压对比fo标记其存在

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来源
《Advanced Semiconductor Manufacturing Conference, 2007 IEEE/SEMI》|2007年|P.48-53|共6页
会议地点 StresaItaly
作者
Patterson; O.D.; Wu; K.; Mocuta; D.; Nafisi; K.;
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作者单位

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会议组织
原文格式 PDF
正文语种
中图分类
关键词
electron beam testing; inspection; silicon-on-insulator; e-beam inspection; in-line detection; inspection tool; missing spacer defects; nonvisual detection; semiconductor technology; split experiment evaluation; test structure; Non-visual defects; defect inspection;

机译：电子束测试；检查;绝缘体上硅电子束检查；在线检测；检查工具；缺少垫片缺陷；非视觉检测；半导体技术；分开的实验评估；测试结构；非视觉缺陷；缺陷检查;

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