integrated circuit yield; quality management; ISMI-Sematech meeting; overall cycle time reduction; semiconductor industry; single wafer management; size 300 mm; size 450 mm; state-of-the-art fabs technology; time 3 month to 4 month; wafer storage quality;
机译:在300mm晶圆厂中实施单晶圆清洁工具的过程,环境和经济方面的考虑
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机译:300mm晶圆FaB中批量调度与amHs控制的集成