Department of Biomedical Engineering, University of Southern California, Los Angeles, CA;
piezoelectric; cantilever; ZnO; bulk microfabrication; diffraction grating; MEMS monochromator; VIS; fluorescence detector;
机译:Nb掺杂PZT薄膜驱动的大扫描角压电MEMS光学扫描仪
机译:基于MEMS扫描镜的微型荧光分子断层扫描(FMT)内窥镜和光纤纤维镜
机译:Nb掺杂PZT薄膜驱动的非谐振二维压电MEMS光学扫描仪
机译:基于金属的光学MEMS使用气溶胶沉积制备的无铅压电片扫描装置
机译:光学生物传感器:SPARROW生物传感器和基于光子晶体的荧光增强。
机译:基于动态压电MEMS的光学元件
机译:用于1D离子寻址的快速压电扫描MEMS镜