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【24h】

Langmuir probe characterization of a miniature inductively coupled plasma source for ion thrusters

机译:用于离子推进器的微型电感耦合等离子体源的Langmuir探针表征

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摘要

A miniature inductively coupled plasma (ICP) source has been developed. The ICP source is a 1.5cm diameter 5-turn spiral antenna embedded in low temperature co-fired ceramic (LTCC). LTCC has a permittivity of ε
机译:已经开发了微型电感耦合等离子体(ICP)源。 ICP源是嵌入在低温共烧陶瓷(LTCC)中的直径为1.5cm的5匝螺旋天线。 LTCC的介电常数为ε

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