室温原子層堆積法を用いたNb_2O_5積層コーティングの耐腐食特性

摘要

金属酸化物の表面コーティングは食品包装、自動車、建築、有機エレクトロニクスなど幅広く用いられている。なかでもAl_2O_3（アルミナ）は耐腐食コーティング材料としてよく知られる。しかし、アルミナは水分に対して若干の潮解性があり、長期間の腐食性に難点がある。一方、Nb_2O_5（酸化ニオブ）をアルミナ上に積層することにより耐腐食性能が大きく改善する報告が既になされているが高温での成膜が必須であり、フレキシブルエレクトロニクス分野への応用が難しいという問題があった。本研究では室温原子層堆積法(Room temperature atomic layer deposition: RT-ALD)を用いてアルミナと酸化ニオブの積層膜を形成しその耐腐食特性を評価した。