溶液プロセスによるバイオセンサ用Active Matrix酸化物TFTアレイの作製

摘要

多項目測定や、位置依存性、濃度イメージングの目的で、バイオセンサをアレイ化する研究が様々な手法で行われている。多くのセンサをアレイ化するには、光イメージング素子やCMOS 等の利用が有利であるが、大面積応用にはコストが高い欠点があった。機能性インクや印刷技術を用いて半導体などの材料をパターニングする溶液プロセスは、比較的大面積・安価に能動デバイスを作製することができる。今回は、溶液プロセスを用い、バイオセンサ用酸化物TFT アクティブマトリックスアレイの作製を試みたので報告する。