Key Lab. of MEMS of Minist. of Educ., Southeast Univ., Nanjing, China;
Key Lab. of MEMS of Minist. of Educ., Southeast Univ., Nanjing, China;
Key Lab. of MEMS of Minist. of Educ., Southeast Univ., Nanjing, China;
Inductors; Silicon; Glass; Substrates; Fabrication; Q-factor; Three-dimensional displays;
机译:使用玻璃回流工艺实现具有嵌入式晶圆通孔的玻璃上硅MEMS器件,用于晶圆级封装和3D芯片集成
机译:使用玻璃回流工艺实现具有嵌入式晶圆通孔的玻璃上硅MEMS器件,用于晶圆级封装和3D芯片集成
机译:研磨介质对13-93生物铸造玻璃支架的加工和性能的影响
机译:高性能3D玻璃嵌入式电感器由玻璃回流过程制造
机译:通过飞秒激光加工制造的基于玻璃的芯片实验室设备。
机译:通过玻璃成型工艺在微流控芯片玻璃上制备微结构
机译:一种用于眼内压监测的3D植入式微系统,采用硅玻璃回流工艺