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Nanoimprint activities in Austria in the research project cluster NILaustria

机译:NILaustria研究项目集群中的奥地利纳米压印活动

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摘要

The NILaustria research project cluster consists of 8 individual research projects and aims to improve nanoimprintlithography in an application driven approach. The cluster is presented as well as highlights from the projects, e.g. thereplication of 12.5n
机译:NILaustria研究项目集群包括8个单独的研究项目,旨在通过应用驱动的方法来改善纳米压印光刻技术。展示集群以及项目中的亮点,例如12.5n的重复

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