EA-LETI - MINATEC - 17, rue des martyrs - 38 054 Grenoble cedex 9 - France;
AVTF - 98, avenue de Brogny - BP 2069 - 74009 Annecy Cedex - France;
Entegris Cleaning Process - 395, rue Louis Lepine - 34000 Montpellier - France;
AMTC - Rahnitzer Allee 9 - 011;
container; specification; automation; ESD; particle; organic outgassing; ionic contamination; airtightness; cleanability; purgeability;
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