Fraunhofer Institute for Silicon Technology, Itzehoe, Germany;
Fraunhofer Institute for Silicon Technology, Itzehoe, Germany;
Fraunhofer Institute for Silicon Technology, Itzehoe, Germany;
Fraunhofer Institute for Silicon Technology, Itzehoe, Germany;
Coils; Force; Mirrors; Magnetic cores; Force measurement; Micromechanical devices; Silicon;
机译:基于单和双S形PZT执行器的压电驱动MEMS反射镜的二维扫描应用研究
机译:电磁驱动的两轴光束转向MEMS镜及其致动对磁场的依赖
机译:用于投影显示的电磁驱动压阻式CMOS MEMS扫描镜
机译:用于向量扫描MEMS镜子的磁驱动器
机译:磁驱动扫描微平台进行血管内超声成像。
机译:基于2D扫描MEMS镜的定制的两个光子荧光成像探针包括电热两级梯双S形致动器
机译:<标题>磁动击MEMS扫描镜标题>