X 線照射されたアルミナセラミックスの真空中沿面耐電圧特性

摘要

電子ビーム照射装置では，加速された電子により制動Xrn線が発生している。それにより絶縁部で用いられるアルミrnナセラミックス(以後アルミナ)には着色が生じる。この着色rnはアルミナの電子状態や格子欠陥の状態が変化しているこrnとで発生すると考えられ，これらの変化はアルミナの真空rn中における沿面耐電圧および帯電特性に影響を及ぼす可能rn性がある。本研究では制動X 線によって着色したアルミナrnに対し真空中沿面放電試験を行い，X 線照射によるアルミrnナの真空中沿面耐電圧特性への影響を調査した。