He/O_2 混合ガスによる 短パルス狭ギャップ大気圧非平衡プラズマの生成と表面処理への応用

摘要

短パルス電圧および狭ギャップ電極系を用いることによrnって高分子表面処理に有効な大気圧非平衡プラズマを生成rnできる(1)。本研究では、これらを用いてHe/O2 混合ガスでプrnラズマ生成し、ポリエチレンテレフタレート（PET）の表面rn酸化を行う。X 線光電子分光法（XPS）でPET 表面を分析すrnるとともに、O2 がプラズマに与える影響を検討する。