St. Petersburg State Univ., St. Petersburg, Russia;
机译:电化学腐蚀引起的粗糙度对多晶硅微机电系统中侧壁附着力的影响
机译:单轴加载应变硅微机电系统基结构表面粗糙度的实验观察
机译:包括粗糙度效应在内的微机电系统中的附着力和接触建模以及实验
机译:纳米尺寸微机电装置和Winchesters的粗糙度
机译:原子力显微镜研究ACTFEL显示设备中的薄膜粗糙度和设备性能
机译:基于微机电装置的姿态航向参考系统传感单元的无线摆角测量方案
机译:微机电系统设备的可靠性