IBM Research, 257 Fuller Rd, Albany, NY 12203, USAc;
机译:不同铜互连结构热应力的有限元分析
机译:在热应力下对1.8μm和180 nm铜互连的原位透射电子显微镜观察
机译:两级Al(Cu)互连结构的热应力特性
机译:应力控制层(SCL)对热循环应力下有机低k / Cu双金属镶嵌互连中通孔稳定性的影响
机译:用于高级ULSI应用的Al(Cu)和Cu互连中的热应力和微观结构。
机译:机械增强的石墨烯-铜复合材料减少了向互连应用的热膨胀
机译:通过电迁移胁迫的Al(Cu)互连中的塑性变形,并通过同步旋转多色X射线Microdiffraction研究