Single trench waveguide TE-TM mode converter fabricated with SiON

机译：用SiON制造的单沟槽波导TE-TM模式转换器

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A TE-TM mode converter constructed with a single trench SiON waveguide is described. The device is fabricated in a single mask and etching process. TE-TM mode conversion efficiency of 97% has been achieved.

机译：描述了由单沟槽SiON波导构成的TE-TM模式转换器。该器件以单个掩模和蚀刻工艺制造。 TE-TM模式转换效率达到了97％。

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来源
《2012 IEEE 9th International Conference on Group IV Photonics.》|2012年|p.111- 113|共3页
会议地点 San Diego CA(US)
作者
Nakayama Kenichi; Shoji Yuya; Mizumoto Tetsuya;
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作者单位

Department of Electrical and Electronic Engineering, Tokyo Institute of Technology, 2-12-1 Ookayama, 152-8552, Japan;

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原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类材料;
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