Department of Electrical and Electronic Engineering, Hong Kong University of Science and Technology, Clear water Bay, Kowloon, Hong Kong, P. R, China;
edge-suspended structures; inductors; coplanar waveguide; current crowding; proximity effect; micromachining;
机译:CMOS级沟槽硅衬底上的高性能电感器
机译:CMOS兼容的微加工技术,用于在硅衬底上制造高性能的边缘悬浮RF微波无源组件
机译:高电阻率硅衬底上螺旋电感的解析模型和数值模型
机译:CMOS级硅基板上的高性能边缘悬浮螺旋电感器和CPW
机译:研究了使用生产硅工艺的高Q螺旋电感器制造方法,并将其应用于电流调谐微波振荡器。
机译:硅衬底MEMS悬浮电感的电感值计算方法
机译:多层,用单级光刻的微亨利电感硅堆叠螺旋铜电感器