Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China;
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Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China;
W-band; Waveguide; Duplexer; MEMS;
机译:基于MEMS微加工技术的新型低g值水平灵敏惯性微动开关的设计,仿真与制造
机译:波导分层分层设计的SOI体微机械双SPDT RF-MEMS开关及其开关机构
机译:基于硅微机械线技术的W波段共面阵列天线的隔离增强
机译:基于MEMS批量微加工技术的高增益高效集成阵列天线在W波段无线应用中的应用
机译:基于单点刀尖几何形状的新型轨道微加工技术的设计,表征和加工力模型。
机译:基于MEMS技术的基于非晶线的微型GMI磁传感器的设计与制作
机译:通过波导和切换机构的层明智的分离设计,SOI批量微机器双SPDT RF-MEMS开关
机译:电子发射体的材料数据和理论。基于异质结双极晶体管,冷阴极和共平面波导技术组合的宽带微波放大器设计。