硅片线切割设备现状与发展综述

摘要

本文介绍国外硅片切割设备研究的最新进展以及国内发展状况,剖析虽然经多年艰苦努力,国产切割设备乃未能取代进口设备的原因,指出应重点研究发展金刚石多线切割设备。金刚石单线和环线切割机应用前景广阔。