提高熔石英玻璃抗355nm激光损伤能力的实验研究

摘要

熔石英玻璃在光学加工过程中造成的亚表面缺陷(SSD)对其抗激光损伤的能力有严重的制约作用。本文通过实验详细研究了磁流变抛光技术和HF蚀刻技术在消除亚表面缺陷方面所起的作用。实验结果显示，经过最优方案处理后的样品相比未处理的样品，裂纹数密度从～103cm-2下降到<10 cm-2,熔石英表面的抗激光损伤能力从13.2提高到30 J/cm2。