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李延夫; 苑庆迪; 杜健; 孙礼;
中国仪器仪表学会;
广东省仪器仪表学会;
硅压力传感器; 可靠性; 失效物理学原理;
机译:基于结构“在蓝宝石上的结构”硅的压力传感器温度误差校正压力传感器温度误差的数字方法
机译:评估射线照相师强化和非强化图像解释教育的有效性:随机对照试验研究方案
机译:一种综述:使用硅迁移技术,用于压力传感器的密封空腔上的晶体硅膜
机译:硅压力传感器可靠性强化测试定性分析
机译:具有集成放大器的压阻式压力传感器,使用金属感应的横向结晶多晶硅实现。
机译:基于硅MEMS技术的高温环境高一致性光纤法布里 - 珀罗压力传感器
机译:混凝土吸收行为的实验研究有和没有硅粉的分裂和混凝土渣碎混凝土和矿渣吸收特性的试验研究有或没有硅粉的混凝土)
机译:用于高灵敏度压力传感器的硅/多孔硅复合膜
机译:根据该方法制造的硅电容式压力传感器和静电电容与硅电容式压力传感器的制造方法,
机译:压差或绝对压力传感器,包括夹在硅膜板上的硅支撑板,硅支撑板在300到500摄氏度之间粘合在一起
机译:在硅体上制造硅的多晶半导体电阻层的方法以及具有这种电阻层的硅压力传感器
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