半导体生产调度研究进展

摘要

半导体生产调度问题是对半导体生产线中的工件、机器和资源进行时间空间上的合理分配,以使得整个生产线上的性能指标最优的问题,具有重要的学术意义和应用价值.它具有高度的复杂性,因此很难用传统方法进行求解.本文从半导体生产调度问题的特点、生产过程的建模、投料控制、工件调度等方面对现有的理论和方法进行了总结,综述当前半导体生产调度问题的研究进展,并指出了半导体生产调度问题若干有待研究的方向和内容.