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光致抗蚀剂的研究发展

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光致抗蚀剂是一类光敏高分子聚合物,受到光能照射时,分子内部发生聚合或分解反应,生成对某些溶剂可溶或不可溶的物质,微细加工中可利用这种特性来得到所需要的几何图形.抗蚀剂是进行微细图形加工,制造微电子器件和印刷线路板的一种关键化学品.本文主要介绍光致抗蚀剂的研究发展情况.

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来源
《2012年第十三届中国辐射固化年会》|2012年|274-277|共4页
会议地点贵阳
作者
ZHOU li-guo; 周立国;
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作者单位

中国感光学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TQ577.35;
关键词
感光材料; 光致抗蚀剂; 光刻技术; 图形加工; 性能表征;

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