环境因素对空气式静电放电的影响研究

摘要

本文通过理论分析和试验研究了环境因素对空气式ESD的影响,其中最主要的影响因素为空气相对湿度.理论分析了空气式ESD的原理,并通过计算得出帕邢击穿间隙随着放电电压的增大而增大,但是击穿场强却随着放电电压的增大呈减小趋势,解释了“高压能通过,低压不能通过”的实验现象.试验研究了不同相对湿度(34±2％、44±2％和54±2％)条件下,电极接近速度和放电电压对ESD放电电流峰值的影响.实验结果表明:在不同的相对湿度下,空气式ESD存在着截然不同的特性,低湿度时提高电极接近速度比高湿度时提高电极接近速度的效果更明显,为选择空气式ESD抗扰度试验条件提供了指导.