光机系统结构误差及误差补偿方法研究

摘要

针对光机系统结构可能产生的误差进行分析，并提出一种对光机系统结构的误差建模方法，通过仿真计算出误差范围，从而根据误差范围选择合适的光学元件对误差进行补偿和消除。