微型薄膜电阻传感器的应用及其动态温度的测试方法

摘要

基于薄膜电阻的快速响应优势及测试上的难题,着重进行了两方面的分析研究:一是采用薄膜电阻作为电流传感器,应用在高压直流互感器上,对薄膜电阻的结构、性能进行了分析与仿真；二是采用间接测温法实现对薄膜电阻温度动态特性测试,解决了当前快速测温的难题.采用多指数谱分析法分析薄膜电阻温度动态特性曲线,用谱特性描述薄膜电阻微细结构的热特征,并从综合的测试结果中,分离出更多微细结构的测试信息,以指导薄膜电阻结构的改进.