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廖璐; 孙敬锋; 李红立; 訾建新; 孟康;
内蒙古自治区科协;
陶瓷微球; 钛酸锂靶件; 粉末合成; 微球成型; 烧结工艺;
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机译:多组分薄膜的离子等离子沉积工艺,镶嵌靶的实现及靶制备工艺
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