大尺寸航天窗口抗辐射功能薄膜的制备研究

摘要

宇宙环境对卫星的光电探测系统有温度干扰,在其外窗口上镀制一层抗热辐射薄膜可以防止干扰.本文介绍了在大尺寸窗口上镀制ITO抗辐射功能薄膜的研究,采用等离子体辅助电子束沉积技术低温成膜,及后退火工艺,研究了ITO薄膜的光电特性与氧气流量的关系,从中找出了最佳工艺参数.制备出的ITO薄膜在500-800nm高透过,T＞92％;在10μm处高反射,R＞80％.镀ITO薄膜后的窗口具有良好的抗热辐射的功能.