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硅基压力传感器性能指标及新国标简介

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文章介绍了硅基压力传感器的基本参数、主要性能指标:电气性能、静态性能、稳定性、动态性能、温度影响、静压影响和环境性能.介绍了新国标的编制过程,主要性能指标及试验方法的确定,温度影响、静压影响的计算公式,给出了环境性能指标的试验条件、试验方法及合格标准.

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来源
《第十二届全国敏感元件与传感器学术会议》|2012年|300-307|共8页
会议地点昆山
作者
徐秋玲; 徐淑霞; 刘沁; 殷波; 张阳; 孙克;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

中国航空学会;

中国生物医学工程学会;

全国高校传感技术研究会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.1;
关键词
硅基压力传感器; 性能指标; 检验方法; 国家标准;
入库时间 2022-08-17 10:58:42

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